Der Inbegriff unseres Engagements für konsistente, langlebige, metallfreie Schnittflächen-Pad-Conditioner. Die 2023 eingeführte 3M™ Trizact™ Pad Conditioner Serie T optimiert die Oberflächentopografie für eine stärkere Pad-Aktivierung, einen deutlich geringeren Verschleiß und eine gleichbleibende Leistung über die gesamte Lebensdauer.
Die metallfreie Schnittfläche eignet sich für Prozesse mit neuen Technologien, die empfindlich gegenüber Metallverunreinigungen sind. Zudem ist eine Kombination mit 3M™ CMP Pad Conditioner-Beschichtungen möglich, um Metallverunreinigungen um bis zu 99 % zu reduzieren, ohne die Planarität, Aggressivität oder Polierleistung zu beeinträchtigen.
Mit zunehmendem Verschleiß des Pad Conditioners sinkt der Reibungskoeffizient rasch, wodurch die Pad-Verschleißrate abfällt.
3M™ Trizact™ Pad Conditioner T Series maintains the tunable surface topography of 3M™ Trizact™ Die 3M™ Trizact™ Pad Conditioner Serie T hält die anpassbare Oberflächenstruktur der 3M™ Trizact™ Pad Conditioner aufrecht und kombiniert sie mit einer gröberen Diamantkörnung, um die Pad-Aktivierung zu stärken und den Abfall der Pad-Verschleißrate zu reduzieren. Die gröbere Diamantbeschichtung führt zu einem höheren Reibungskoeffizienten, durch den der Abfall der Pad-Verschleißrate um das bis zu Vierfache reduziert werden kann.
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