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3M™ Trizact™ Pad Conditioner

  • 3M ID B5005049057

Präzise gefertigte mikroreplizierte 3D-Keramikstrukturen, die mit CVD-Diamanten beschichtet sind

Präzise gesteuerte mikroreplizierte Strukturen

Gleichbleibende Leistung von Scheibe zu Scheibe und eine metallfreie Schnittfläche.

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Details

Eigenschaften
  • Präzise gefertigte mikroreplizierte 3D-Keramikstrukturen, die mit CVD-Diamanten beschichtet sind
  • Präzise gesteuerte mikroreplizierte Strukturen
  • Gleichbleibende Leistung von Scheibe zu Scheibe und eine metallfreie Schnittfläche
  • Ideal für fortschrittliche Prozesse die empfindlich auf metallische Verunreinigungen reagieren

Durch die Zusammenführung des Know-hows von 3M in den Bereichen Schleifmittel, Keramik und Mikroreplikation ist der 3M™ Trizact™ Pad Conditioner ein innovatives Produkt für das chemisch-mechanische Polieren (CMP) in der modernen Halbleiterfertigung.

Spezifikationen

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