3M™ Siliziumnitrid 147A ist ein hochreines Siliziumnitrid, das für eine Vielzahl von Halbleiterkomponenten verwendet wird, einschließlich Fokusringe, Gasverteilerplatten und Hochfrequenzfenster (RF)
Hervorragende mechanische Eigenschaften
Verschleißfest
Hohe Reinheit
Elektrische Eigenschaften zugeschnitten auf Halbleiter