3M™ Trizact™ Pad Conditioner B25-2910-5S2, 108 mm Durchmesser

3M-ID 7100091812
  • Präzise gefertigte mikroreplizierte 3D-Keramikstrukturen, die mit CVD-Diamanten beschichtet sind
  • Präzise gesteuerte mikroreplizierte Strukturen
  • Gleichbleibende Leistung von Scheibe zu Scheibe und eine metallfreie Schnittfläche.
  • Ideal für fortschrittliche Prozesse die empfindlich auf metallische Verunreinigungen reagieren
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Produktdetails

Durch die Zusammenführung des Know-hows von 3M in den Bereichen Schleifmittel, Keramik und Mikroreplikation ist der 3M™ Trizact™ Pad Conditioner ein innovatives Produkt für das chemisch-mechanische Polieren (CMP) in der modernen Halbleiterfertigung.

  • Präzise gefertigte mikroreplizierte 3D-Keramikstrukturen, die mit CVD-Diamanten beschichtet sind
  • Präzise gesteuerte mikroreplizierte Strukturen
  • Gleichbleibende Leistung von Scheibe zu Scheibe und eine metallfreie Schnittfläche.
  • Ideal für fortschrittliche Prozesse die empfindlich auf metallische Verunreinigungen reagieren
Spezifikationen
Trägermaterial
304 Edelstahl
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